溶劑噴淋清洗設備 Spray Solvent Tool
SST
產品分類
SST
產品描述
溶劑噴淋清洗設備 Spray Solvent Tool為金屬剝離、光阻膠剝離、去除聚合物和其他要求苛刻溶劑型工藝批次處理系統。可用於50到200mm基板，並可選擇有一個或兩個處理腔室 2至6個加熱藥液桶(可選擇性)和專屬客制化轉子。系統為可程式化控制器以簡單、便捷、優化控制單元，高性能及安全管路設計及高穩定儲存藥液控溫系統，可遠端下載生產歷程資料記錄，亦可支援GEM / SECSII通信協定。
產品特色
- 全球獨家馬達(電機)適合低轉速作業及高轉速穩定輸出
- 化學回收能力以降低化學品使用
- 待機或運轉仍持續回收和過濾化學品
- 經過精密溫度控制系統以達快速電化學加熱
- 晶圓旋轉於Teflon Cassette中，安全保護產品
- 特殊工藝加熱藥液桶，可使腔室及轉子減少汙染