嵌入式水平式晶圓旋乾機 Down Flow Spin Dry
BS Model
產品分類
BS Model
產品描述
嵌入式水平式晶圓旋乾機 Down Flow Spin Dry主要應用於晶圓(Wafer)、基板及玻璃等清洗後乾燥，最大特點可搭配清洗機臺(Wet Bench)達到全自動乾進乾出，減少人力支出增加產品穩定性。
BR Model為大中華地區半導體展最大亮點，配有自動平衡裝置(Auto Balance)，最大可支持2個工位自動平衡，並配合振動檢知功能，達到全方位晶圓旋乾機的使用體驗。
產品特色
- 全球獨家馬達(電機)適合長時間連續運轉
- 客製化轉盤設計具有低振動表現
- 振動檢知及緊急停機設計
- 提供清洗機動作及資訊交握銜接
- 高潔淨ULPA穩定乾燥潔淨