晶圓旋乾機 Spin Rinse Dry
垂直式旋乾機 SV Model
產品分類
垂直式旋乾機 SV Model
產品描述
晶圓旋乾機主要應用於晶圓(Wafer)、基板及玻璃等清洗後乾燥，是半導體製程中關鍵且重要的其一設備。原理利用高速旋轉將產品表面水珠快速脫離產品，再使用乾燥氣體(N₂)吹拂，達到產品快速且穩定支乾燥效果。
SV Model為直立式旋乾機，可選擇SV-702、SV-805、SV-802及SV-300針對不同產品對應符合使用機型。SH Model為水平式旋乾機，最大可支援6吋4工位產品使用，最高可一次旋轉100片晶圓(產品)，增加產線生產效率。
產品特色
- 全球獨家馬達(電機)適合長時間連續運轉
- 淨化、速控、溫控、靜電離子控管
- 客製化轉子設計具有低振動表現
- 整合式TFT全彩觸控介面提供各項設備資訊
- 可支援GEM / SECSII通信協定